Nama produk: Scandium Sputtering Target
Nama panggilan produk: sasaran skandium, pemasangan sasaran skandium, Sasaran Sc
Rupa: perak
Takat lebur: 1541 darjah
Takat didih: 2836 darjah
Ketumpatan: 2.985 g/cm3
Ketulenan: Sc/TREM Lebih besar daripada atau sama dengan 99.99% TREM Lebih besar daripada atau sama dengan 99.9%
Density: >99.5%
Saiz bijian purata:<500μm
Kekasaran yang ditunjukkan:<2μm
Spesifikasi: sasaran pesawat, sasaran bulat, sasaran berputar (saiz boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan)
Binding: Indium brazing (kaedah mengikat dan bahan plat belakang boleh disesuaikan mengikut pelanggan)
Ciri teknikal: pemutus ultra-vakum, pembersihan sasaran dan pemprosesan plastik
Kegunaan sasaran skandium:
Sasaran sputtering skandium adalah bahan utama untuk penyediaan filem nipis skandium logam melalui pemendapan wap fizikal (PVD). Pemasangan sasaran skandium terdiri daripada sasaran skandium kosong dan plat belakang yang dipateri bersama. Sasaran skandium kosong ialah bahan sasaran untuk pengeboman pancaran ion berkelajuan tinggi dan merupakan bahagian teras sasaran sputtering. Semasa proses salutan sputtering, selepas kosong sasaran skandium terkena ion, atom skandium pada permukaannya terpercik keluar dan dimendapkan pada substrat. Filem nipis elektronik dibuat padanya. Oleh kerana logam skandium ketulenan tinggi adalah lembut, sasaran sputtering perlu dipasang dalam mesin khas untuk menyelesaikan proses sputtering. Bahagian dalam mesin adalah persekitaran voltan tinggi dan vakum tinggi. Oleh itu, kosong sasaran skandium perlu diikat dengan plat belakang melalui proses kimpalan yang berbeza. Plat belakang terutamanya memainkan peranan untuk menetapkan sasaran sputtering, dan perlu mempunyai kekonduksian elektrik dan haba yang baik, dan biasanya diperbuat daripada tembaga. Terdapat empat kaedah pengikatan yang biasa digunakan: kimpalan rasuk elektron, kimpalan resapan, pateri indium, dan ikatan pelekat. Antaranya, indium brazing binding adalah yang paling banyak digunakan.
Filem logam skandium boleh digunakan untuk menyediakan filem piezoelektrik AlScN, yang pada masa ini merupakan bahan semikonduktor yang sangat menjanjikan. Bahan filem piezoelektrik AlScN mempunyai kelebihan ketara seperti kelajuan bunyi yang tinggi, kestabilan terma yang baik, jurang jalur lebar, dan serasi terutamanya dengan proses CMOS. Pada masa yang sama, ia boleh mengatasi pekali piezoelektrik kecil dan pekali gandingan elektromekanikal filem piezoelektrik aluminium nitrida (AlN). Ia mempunyai aplikasi penting dalam gelombang akustik pukal (BAW), gelombang akustik permukaan (SAW), penuaian tenaga, pengesanan ultrasonik dan transistor kesan medan. Dengan mendopan kandungan skandium yang tinggi ke dalam aluminium nitrida, prestasi piezoelektrik dan pekali gandingan elektromekanikal peranti frekuensi radio boleh dipertingkatkan dengan ketara. AlScN boleh menggantikan bahan aluminium nitrida dalam penapis BAW (FBAR)/SAW bahagian hadapan frekuensi radio 5G, dan mempunyai prospek aplikasi yang hebat dalam bidang peranti kuasa generasi baharu.
In semiconductor chip coating, there are strict requirements on the purity and microstructure of the scandium target. If the impurity content is too high, the formed film will not be able to achieve the required electrical properties for use, and will easily form on the wafer during the sputtering process. Particles are formed on the film, causing short circuit or damage to the circuit, which will seriously affect the performance of the film. The scandium targets produced by HNRE use high-purity scandium raw material Sc/TREM>99.99%. After rolling porcess, the grain size is less than 500μm and the density is>99.5%. Ia telah dibekalkan kepada banyak syarikat semikonduktor yang terkenal di dunia.
Cool tags: sasaran logam skandium, pengeluar sasaran logam skandium China, pembekal, ဝယ်ယူရန်အတွက်ရှားပါးသောပစ်မှတ်ထား, စက်မှုအသုံးပြုသူအသုံးပြုသူအတွက်ရှားပါးသောကမ္ဘာမြေပစ်မှတ်, ကျွမ်းကျင်သူအသုံးပြုသူအတွက်ရှားပါးသောကမ္ဘာမြေပစ်မှတ်, ဖြန့်ဖြူးသူအသုံးပြုသူအတွက်ရှားပါးသောပစ်မှတ်ထား, ပစ္စည်းများခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာအသုံးပြုသူအတွက်ရှားပါးသောကမ္ဘာမြေပစ်မှတ်, လက်ကားရောင်းသူ၏အသုံးပြုသူအတွက်ရှားပါးသောပစ်မှတ်ထား